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一种利于回收的卡塞及回收方法,涉及晶圆分选卡塞领域,包括上端板、下端板和滑动板,所述的上端板与下端板之间设置有用于分层卡放晶圆的卡放组件,卡放组件不少于三组,卡放组件包括导向轴和隔块,导向轴的两端分别与上端板和下端板固定连接,隔块一字排开串...该专利属于大庆溢泰半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大庆溢泰半导体材料有限公司授权不得商用。
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一种利于回收的卡塞及回收方法,涉及晶圆分选卡塞领域,包括上端板、下端板和滑动板,所述的上端板与下端板之间设置有用于分层卡放晶圆的卡放组件,卡放组件不少于三组,卡放组件包括导向轴和隔块,导向轴的两端分别与上端板和下端板固定连接,隔块一字排开串...