下载半导体的切割方法的技术资料

文档序号:38408522

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本发明公开了一种半导体的切割方法,包括:将半导体固定在UV胶带的粘性层上;控制激光器对所述半导体的切割道进行激光束照射,以将所述半导体分离成多个单元;控制紫外线灯对所述UV胶带照射第一预设时间,以使所述粘性层减粘;将所述多个单元与所述UV胶...
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