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本发明公开具有经流体冷却排气管的拉晶系统。所述经流体冷却排气管延伸穿过反应器壳体并进入反应室。在一些实施例中，所述排气管延伸穿过拉晶器壳体的底部且延伸穿过拉锭器壳体内的底部遮热板。壳体内的底部遮热板。壳体内的底部遮热板。
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该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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