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一种基于声表面波的雾化芯片制造技术
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下载一种基于声表面波的雾化芯片的技术资料
文档序号:38383730
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本发明公开了一种基于声表面波的雾化芯片,包括压电基体、叉指电极和带状微结构。通过增加带状微结构,使得液滴在声表面波和毛细张力的共同作用下更容易形成液膜,从而提高雾化效率。本发明的声表面波雾化芯片具有功耗低,雾化效率高等优点,同时微结构能够在...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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