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基于二维材料存储时长可调的浮栅存储器及其制备工艺制造技术
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下载基于二维材料存储时长可调的浮栅存储器及其制备工艺的技术资料
文档序号:38373929
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本发明公开了一种基于二维材料存储时长可调的浮栅存储器及其制备工艺,包括:P型掺杂硅衬底;氧化硅阻挡层,固定于P型掺杂硅衬底;若干组刻蚀所得石墨烯层,呈特定密度生长固定于氧化硅阻挡层;氧化铝种子层,对应蒸镀固定于若干组刻蚀所得石墨烯层;氧化铪...
该专利属于北京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学授权不得商用。
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