下载一种铁电电容器及其制造方法的技术资料

文档序号:38372437

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本申请提供一种铁电电容器及其制造方法,在基底上形成第一电极层,在第一电极层上形成介质层,介质层的材料为掺锆的氧化铪,介质层中锆的摩尔数占铪和锆的摩尔总数的比例范围为0.65
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该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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