温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种半导体光阻喷涂装置，包括：用于对晶圆喷涂光阻剂的喷嘴；用于不断向所述喷嘴提供光阻溶液的缓冲罐，所述缓冲罐与所述喷嘴相连；用于储存光阻剂并向所述缓冲罐添加光阻剂的光阻瓶；以及用于去除向所述缓冲罐添加光阻剂过程中产生的气泡的气泡...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。