下载三维半导体存储器装置、包括其的电子系统及其制造方法的技术资料

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公开了一种三维半导体存储器装置、包括其的电子系统及其制造方法。半导体存储器装置可包括:堆叠结构,其包括交替地堆叠在衬底上的电极层和电极层间绝缘层;竖直半导体图案,其穿过堆叠结构,并且布置为邻近于衬底;以及栅极绝缘层,其在竖直半导体图案与堆叠...
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