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本发明提供一种在通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置中，能够减少泵数量的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置(1)的减压机构(20)具有：第一专用泵(51)、第二专用泵(52)、以及共有泵(55)。第一专用泵(51)进...
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