减压干燥装置及减压干燥方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置中，能够减少泵数量的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置(1)的减压机构(20)具有：第一专用泵(51)、第二专用泵(52)、以及共有泵(55)。第一专用泵(51)进行从第一腔室(11)的排气。第二专用泵(52)进行从第二腔室(12)的排气。共有泵(55)能够在从第一腔室(11)的排气与从第二腔室(12)的排气之间进行切换来使用。由此，能够减少泵的数量。减少泵的数量。减少泵的数量。

【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置及减压干燥方法


[0001]本专利技术涉及一种通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置及减压干燥方法。

技术介绍

[0002]以往，在有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示器的制造工序中，在基板上表面形成成为空穴注入层、空穴传输层、或发光层的涂布层。涂布层是通过喷墨装置而局部地涂布于基板上表面。而且，形成有涂布层的基板被搬送到减压干燥装置的腔室内，接受减压干燥处理。由此，涂布层中所含的溶剂气化而涂布层干燥。
[0003]减压干燥装置包括：腔室，收容基板；以及减压机构，从腔室抽吸气体。关于以往的减压干燥装置，例如在专利文献1中有所记载。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2016
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161146号公报

技术实现思路

[0007][专利技术所要解决的问题][0008]但是，形成于基板上表面的涂布层有时包含沸点压力不同的多种溶剂。在此情况下，减压干燥装置需要以与各溶剂相适的减压速度，将腔室内减压到与各溶剂相适的压力。另外，近年来，随着基板的大型化，进行减压干燥处理的腔室的容积也变大。根据这些情况，有时在一个腔室连接多个抽吸气体的真空泵。
[0009]另外，减压干燥装置有时包括多个腔室。若在多个腔室分别连接多个真空泵，则需要大量真空泵。
[0010]本专利技术是鉴于此种情况而成，其目的在于提供一种在通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置中，能够减少泵数量的技术。
[0011][解决问题的技术手段][0012]为了解决所述课题，本申请的第一专利技术为通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥装置，所述减压干燥装置包括：第一腔室及第二腔室，能够收容基板；以及减压机构，从所述第一腔室及所述第二腔室排出气体，所述减压机构具有：第一专用泵，连接于所述第一腔室；第二专用泵，连接于所述第二腔室；共有泵；第一排气路径，使所述第一腔室与所述共有泵相连；第二排气路径，使所述第二腔室与所述共有泵相连；以及共有切换部，在封闭状态、第一开放状态、以及第二开放状态之间进行切换，所述封闭状态是将所述第一排气路径及所述第二排气路径两者封闭，所述第一开放状态是将所述第二排气路径封闭并使所述第一排气路径开放，所述第二开放状态是将所述第一排气路径封闭并使所述第二排气路径开放。
[0013]本申请的第二专利技术是根据第一专利技术的减压干燥装置，还包括：控制部，对所述共有
切换部进行控制，所述控制部a)将所述共有切换部设为所述封闭状态，b)在所述工序a)之后，将所述共有切换部设为所述第一开放状态，c)在所述工序b)之后，将所述共有切换部设为所述第二开放状态。
[0014]本申请的第三专利技术是根据第一专利技术或第二专利技术的减压干燥装置，其中所述减压机构具有多个所述共有泵。
[0015]本申请的第四专利技术是根据第一专利技术至第三专利技术中任一专利技术的减压干燥装置，其中所述减压机构还具有：第一高真空泵，连接于所述第一腔室；以及第二高真空泵，连接于所述第二腔室。
[0016]本申请的第五专利技术是根据第四专利技术的减压干燥装置，其中所述减压机构还具有：第一切换部，在所述第一专用泵连接于所述第一腔室的状态、与所述第一专用泵连接于所述第一高真空泵的下游侧的状态之间进行切换；以及第二切换部，在所述第二专用泵连接于所述第二腔室的状态、与所述第二专用泵连接于所述第二高真空泵的下游侧的状态之间进行切换。
[0017]本申请的第六专利技术为通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥的减压干燥方法，所述减压干燥方法具有：a)通过第一专用泵，从第一腔室排出气体的工序；b)通过第二专用泵，从第二腔室排出气体的工序；c)在所述工序a)之后，通过所述第一专用泵及共有泵，从所述第一腔室排出气体的工序；以及d)在所述工序b)及所述工序c)之后，通过所述第二专用泵及所述共有泵从所述第二腔室排出气体的工序。
[0018]本申请的第七专利技术是根据第六专利技术的减压干燥方法，其中在所述工序c)中，通过所述第一专用泵及多个所述共有泵，从所述第一腔室排出气体，在所述工序d)中，通过所述第二专用泵及多个所述共有泵，从所述第二腔室排出气体。
[0019]本申请的第八专利技术是根据第六专利技术或第七专利技术的减压干燥方法，还具有：e)在所述工序c)之后，通过第一高真空泵，从所述第一腔室排出气体的工序；以及f)在所述工序d)之后，通过第二高真空泵，从所述第二腔室排出气体的工序。
[0020]本申请的第九专利技术是根据第八专利技术的减压干燥方法，其中在所述工序e)中，在所述第一高真空泵的下游侧，进行基于所述第一专用泵的排气，在所述工序f)中，在所述第二高真空泵的下游侧，进行基于所述第二专用泵的排气。
[0021][专利技术的效果][0022]根据本申请的第一专利技术～第五专利技术，在将共有切换部设为封闭状态的情况下，能够仅使用第一专用泵从第一腔室进行排气，仅使用第二专用泵从第二腔室进行排气。另外，在将共有切换部设为第一开放状态的情况下，能够使用第一专用泵及共有泵从第一腔室进行排气。另外，在将共有切换部设为第二开放状态的情况下，能够使用第二专用泵及共有泵从第二腔室进行排气。如此，能够对共有泵在从第一腔室的排气与从第二腔室的排气之间进行切换来加以使用。由此，能够减少泵的数量。
[0023]尤其，根据本申请的第二专利技术，首先，在工序a)中，仅使用第一专用泵从第一腔室以低速进行排气，并且仅使用第二专用泵从第二腔室以低速进行排气。继而，在工序b)中，通过并用第一专用泵及共有泵，将第一腔室内减压到更低的压力。其后，在工序c)中，通过并用第二专用泵及共有泵，将第二腔室内减压到更低的压力。由此，能够在抑制泵的数量的同时，将第一腔室及第二腔室减压到低的压力。
[0024]尤其，根据本申请的第三专利技术，能够进一步提高并用专用泵及共有泵时的抽吸力。
[0025]尤其，根据本申请的第四专利技术，通过使用第一高真空泵，能够将第一腔室减压到更低的压力。另外，通过使用第二高真空泵，能够将第二腔室减压到更低的压力。
[0026]尤其，根据本申请的第五专利技术，利用第一专用泵作为第一高真空泵的辅助泵。另外，利用第二专用泵作为第二高真空泵的辅助泵。由此，能够进一步减少泵的数量。
[0027]另外，根据本申请的第六专利技术～第九专利技术，在工序c)中，将共有泵用于从第一腔室的排气。在工序d)中，将共有泵用于从第二腔室的排气。如此，对共有泵在从第一腔室的排气与从第二腔室的排气之间进行切换来加以使用。由此，能够减少泵的数量。
[0028]尤其，根据本申请的第七专利技术，能够进一步提高工序c)及工序d)中的抽吸力。
[0029]尤其，根据本申请的第八专利技术，通过使用第一高真空泵，能够将第一腔室减压到更低的压力。另外，通过使用第二高真空泵，能够将第二腔室减压到更低的压力。
[0030]尤其，根据本申请的第九专利技术，利用第一专用泵作为第一高真空泵的辅助泵。另外，利用第二专用泵作为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，通过减压来使形成于基板上表面的涂布层干燥，所述减压干燥装置包括：第一腔室及第二腔室，能够收容基板；以及减压机构，从所述第一腔室及所述第二腔室排出气体，所述减压机构具有：第一专用泵，连接于所述第一腔室；第二专用泵，连接于所述第二腔室；共有泵；第一排气路径，使所述第一腔室与所述共有泵相连；第二排气路径，使所述第二腔室与所述共有泵相连；以及共有切换部，在封闭状态、第一开放状态、以及第二开放状态之间进行切换，所述封闭状态是将所述第一排气路径及所述第二排气路径两者封闭，所述第一开放状态是将所述第二排气路径封闭并使所述第一排气路径开放，所述第二开放状态是将所述第一排气路径封闭并使所述第二排气路径开放。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，还包括：控制部，对所述共有切换部进行控制，所述控制部a)将所述共有切换部设为所述封闭状态，b)在所述工序a)之后，将所述共有切换部设为所述第一开放状态，c)在所述工序b)之后，将所述共有切换部设为所述第二开放状态。3.根据权利要求1或2所述的减压干燥装置，其中所述减压机构具有多个所述共有泵。4.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其中所述减压机构还具有：第一高真空泵，连接于所述第一腔室；以及第二高真空泵，连接于所述第二腔室。5.根据权利要求4所述的减压干燥装置，其中所述减压机构还具有：第一切换部，在所述第一专用泵连接于...

【专利技术属性】
技术研发人员：高村幸宏，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：