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本发明提供了一种基座支撑结构和外延生长设备，属于半导体制造技术领域。基座支撑结构，用于支撑外延生长设备中的基座，所述基座支撑结构包括支撑柱，以及，由所述支撑柱向外延伸的锥形的支撑曲面，所述支撑曲面采用透明材质。本发明的技术方案能够提高外延片...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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