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在实施例中,一种器件包括:介电层,位于半导体衬底的有源表面上方;导电通孔,位于介电层中,该导电通孔包括具有非均匀晶粒取向的第一铜层;以及接合焊盘,位于导电通孔上方和介电层中,接合焊盘包括具有均匀晶粒取向的第二铜层,接合焊盘的顶面与介电层的顶...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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在实施例中,一种器件包括:介电层,位于半导体衬底的有源表面上方;导电通孔,位于介电层中,该导电通孔包括具有非均匀晶粒取向的第一铜层;以及接合焊盘,位于导电通孔上方和介电层中,接合焊盘包括具有均匀晶粒取向的第二铜层,接合焊盘的顶面与介电层的顶...