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半导体结构及半导体结构的制造方法技术
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文档序号:38331102
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本公开涉及半导体技术领域,提出了一种半导体结构及半导体结构的制造方法。半导体结构包括:衬底,衬底上包括多个间隔分布的下电极柱;介质层,介质层至少部分覆盖下电极柱的侧壁;第一上电极,第一上电极覆盖在介质层的表面;第一支撑层,第一支撑层位于多个...
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