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本公开实施例提供一种晶粒的失效形态分析系统、方法及设备，系统包括：图形绘制模块，用于从数据库中获取目标晶圆的修补数据，在显示界面中生成目标晶圆对应的晶圆图，并确定晶圆图中每个晶粒对应的晶粒结构图；处理模块，用于当接收到用户在晶圆图中触发的选...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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