下载一种侧面倾斜的发光二极管芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:3828512

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本发明提供了一种侧面倾斜的发光二极管芯片及其制备方法,该芯片外延层的侧面具有一定的倾斜角度,能提高发光二极管芯片的出光效率;制备方法是首先在衬底上生长外延层,其中外延层包括缓冲层、N型层、多量子阱层和P型层;刻蚀出N型层区域,在P型区域镀上...
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