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一种控制气体流动的系统包括用于储存固体前体的安瓿。加热器用于加热所述安瓿，以及将所述固体前体升华为气态前体。质量流量控制器用于调节所述气态前体从所述安瓿到衬底处理室的流动。压力传感器用于测量输入至所述质量流量控制器的所述气态前体的压力。控制...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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