温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于检测缺陷的系统包括：存储器，被配置为存储指令程序；以及处理器，被配置为执行指令程序以将SEM图像转换为图像布局；基于对图像布局和设计布局执行第一布局匹配来确定搜索空间；基于在搜索空间中执行第二布局匹配来匹配图像布局和设计布局；以及基...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。