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下载半导体装置的技术资料
文档序号:38246770
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提供了一种半导体装置,所述半导体装置包括:底电极,位于基底上;支撑图案,位于底电极与相邻底电极之间;顶电极,覆盖底电极和支撑图案;以及介电层,位于底电极与顶电极之间,并且位于支撑图案与顶电极之间。底电极可以包括包含缝隙的第一部分和位于第一部...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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