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三维测量装置以及三维测量程序制造方法及图纸
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文档序号:38223880
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使用基于事件的传感器进行高速且高精度的光扫描式三维测量。三维测量装置(8)具有:投光部(7),其一边扫描参照光一边向对象物(W)投光;受光部(3),其接收由对象物(W)反射的参照光,按像素监视参照光的亮度变化,在亮度变化为预先确定的阈值以上...
该专利属于发那科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过发那科株式会社授权不得商用。
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