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本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种单晶炉双相复合换热器、单晶炉和换热方法；单晶炉双相复合换热器包括换热壳体和分隔板，换热壳体包括相互连接且间隔分布的内壳和外壳，内壳的内壁和外壳的内壁之间形成换热腔，内壳的外壁围合形成提拉通道；分隔...
该专利属于苏州晨晖智能设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晨晖智能设备有限公司授权不得商用。

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