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半导体器件、三维存储器及半导体器件制备方法技术
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文档序号:38203414
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本申请提供一种半导体器件、三维存储器及半导体器件制备方法,半导体器件包括衬底,多个栅极、与多个所述栅极对应的第一触点以及数个第二触点;多个所述栅极间隔设于所述衬底的表面上,且每两个相邻的所述栅极之间有间隔区,所述衬底的表面上设有位于所述间隔...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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