专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
东京毅力科创株式会社
>
基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质的技术资料
文档序号:38197789
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查基板,所述基板检查装置具有:保持部(31),其用于保持基板;第一光源部(51),其用于对保持于保持部(31)的基板射出可见光;第...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。