基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查基板，所述基板检查装置具有：保持部(31)，其用于保持基板；第一光源部(51)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出可见光；第二光源部(52)，其用于对保持于保持部(31)的基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射可见光而从基板射出的第一反射光，来拍摄关于基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射红外光而从基板射出的第二反射光，来拍摄关于基板的表面的红外光图像。基板的表面的红外光图像。基板的表面的红外光图像。

【技术实现步骤摘要】
基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质


[0001]本公开涉及一种基板检查装置、基板检查方法以及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载有如下内容：通过向基板照射近红外线进行拍摄，来去除基板的表面的粗糙度成分，得到缺陷部分的图像。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2012
‑
002648号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]基于本公开的一个方式的基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射所述红外光而从所述基板射出的第二反射光，来拍摄关于所述基板的表面的红外光图像。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据本公开，提供一种获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像的技术。
附图说明
[0012]图1是示出基板处理系统的概要结构的一例的示意图。
[0013]图2是示出涂布显影装置的一例的示意图。
[0014]图3是示出摄像单元的一例的示意图。
[0015]图4是说明摄像单元中的摄像部与投射反射部之间的配置的一例的示意图。
[0016]图5是示出光学滤波器的光学特性的一例的图。
[0017]图6是示出控制装置的功能性的结构的一例的框图。
[0018]图7的(a)是说明在控制装置中获取的图像的例子的图，图7的(b)是说明制作伪RGB图像的方法的一例的图。
[0019]图8是示出控制装置的硬件结构的一例的框图。
[0020]图9是说明基板检查方法的一例的流程图。
具体实施方式
[0021]下面，对各种例示性的实施方式进行说明。
[0022]在一个例示性的实施方式中，提供一种基板检查装置。基板检查装置使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射所述红外光而从所述基板射出的第二反射光，来拍摄关于所述基板的表面的红外光图像。
[0023]在上述的基板检查装置中，在第一摄像传感器中获取关于基板的表面的可见光图像，在第二摄像传感器中获取关于基板的表面的红外光图像，因此，能够使用这两种图像来检查基板。可见光图像和红外光图像包含互不相同的信息作为用于检测基板的缺陷的信息，从而当将这些图像用于检查时，能够得到与基板有关的更详细的信息。因而，根据上述的基板检查装置，能够获取能够更高精度地检测基板的缺陷的图像。
[0024]也可以是如下方式：还具有方向变更部，所述方向变更部用于将所述第一反射光和所述第二反射光变更为同一方向，所述第一摄像传感器接受由所述方向变更部变更了方向后的所述第一反射光，所述第二摄像传感器接受由所述方向变更部变更了方向后的所述第二反射光。
[0025]通过设为上述的结构，与不具有方向变更部的情况相比，能够灵活地变更第一摄像传感器和第二摄像传感器的配置。
[0026]也可以是如下方式：所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器收容于同一摄像机。
[0027]通过如上述那样设为使用收容有第一摄像传感器和第二摄像传感器的摄像机的结构，能够用一台摄像机获取可见光图像和红外光图像，因此能够防止基板检查装置的大型化。
[0028]也可以是如下方式：还具有入射方向调整部，所述入射方向调整部用于对来自所述第一光源部的所述可见光和来自所述第二光源部的所述红外光进行调整，以使来自所述第一光源部的所述可见光和来自所述第二光源部的所述红外光相对于所述基板成为同一入射方向。
[0029]通过设为上述的结构，与不具有入射方向调整部的情况相比，能够灵活地变更第一光源部和第二光源部的配置。
[0030]也可以是如下方式：向所述基板入射的所述可见光、向所述基板入射的所述红外光、从所述基板射出的所述第一反射光以及从所述基板射出的所述第二反射光处于同一光轴上。
[0031]通过构成为上述的四种光配置于同一光轴上，能够减小这些光的光轴存在的空间。因而，能够减少设为不遮挡光的行进路线那样的装置结构等关于装置结构的限制，因此能够灵活地变更除光学系统以外的构件的配置。
[0032]也可以是如下方式：所述保持部、所述第一光源部、所述第二光源部、所述第一摄像传感器以及所述第二摄像传感器收容于摄像单元，所述基板检查装置还具有控制部，所
述控制部控制所述摄像单元，来进行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述红外光图像的拍摄，并且使用所述可见光图像和所述红外光图像来进行关于所述基板的检查。
[0033]通过设为上述的结构，能够由控制部总括地控制可见光图像及红外光图像的拍摄、以及使用这些图像来进行的关于基板的检查。
[0034]也可以是如下方式：所述保持部能够在所述摄像单元内沿水平方向移动，通过所述控制部的控制，在所述保持部移动的期间，并行地进行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述红外光图像的拍摄。
[0035]通过设为上述的结构，能够缩短用于可见光图像及红外光图像的拍摄的时间，从而能够缩短基板的检查所需的时间。
[0036]也可以是如下方式：所述控制部通过对所述可见光图像与所述红外光图像进行比较，来检测所述基板的表面的缺陷。
[0037]可见光图像中包含的关于基板的缺陷的信息和红外光图像中包含的关于基板的缺陷的信息并不相同，还能够包含互不相同的信息。因而，通过设为对两个图像进行比较来检测缺陷的结构，还能够检测仅通过一方的图像无法检测的缺陷。
[0038]也可以是如下方式：所述可见光图像是将颜色成分互不相同的多种颜色成分图像合成而得到的图像，所述控制部使所述红外光图像与多种所述颜色成分图像中的至少一种所述颜色成分图像合成而得到的图像显示于显示部。
[0039]通过设为上述的结构，与通常的可见光图像或红外光图像不同的合成图像显示于显示部，因此用户能够确认与可见光图像或红外光图像不同种类的图像。
[0040]在另一例示性的实施方式中，提供一种基板检查方法。基板检查方法是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板检查装置，使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查装置具有：保持部，其用于保持所述基板；第一光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；第二光源部，其用于对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；第一摄像传感器，其接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可见光图像；以及第二摄像传感器，其接受通过照射所述红外光而从所述基板射出的第二反射光，来拍摄关于所述基板的表面的红外光图像。2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，还具有方向变更部，所述方向变更部用于将所述第一反射光和所述第二反射光变更为同一方向，所述第一摄像传感器接受由所述方向变更部变更了方向后的所述第一反射光，所述第二摄像传感器接受由所述方向变更部变更了方向后的所述第二反射光。3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述第一摄像传感器和所述第二摄像传感器收容于同一摄像机。4.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，还具有入射方向调整部，所述入射方向调整部用于对来自所述第一光源部的所述可见光和来自所述第二光源部的所述红外光进行调整，以使来自所述第一光源部的所述可见光和来自所述第二光源部的所述红外光相对于所述基板成为同一入射方向。5.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，向所述基板入射的所述可见光、向所述基板入射的所述红外光、从所述基板射出的所述第一反射光以及从所述基板射出的所述第二反射光处于同一光轴上。6.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，所述保持部、所述第一光源部、所述第二光源部、所述第一摄像传感器以及所述第二摄像传感器收容于摄像单元，所述基板检查装置还具有控制部，所述控制部控制所述摄像单元，来进行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述红外光图像的拍摄，并且使用所述可见光图像和所述红外光图像来进行关于所述基板的检查。7.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，所述保持部能够在所述摄像单元内沿水平方向移动，通过所述控制部的控制，在所述保持部移动的期间，并行地进行由所述第一摄像传感器进行的所述可见光图像的拍摄和由所述第二摄像传感器进行的所述红外光图像的拍摄。8.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，所述控制部通过对所述可见光图像与所述红外光图像进行比较，来检测所述基板的表面的缺陷。9.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，所述可见光图像是将颜色成分互不相同的多种颜色成分图像合成而得到的图像，所述控制部使所述红外光图像与多种所述颜色成分图像中的至少一种所述颜色成分
图像合成而得到的图像显示于显示部。10.一种基板检查方法，使用拍摄基板的表面而得到的图像来检查所述基板，所述基板检查方法包括：由保持部保持所述基板；从第一光源部对保持于所述保持部的所述基板射出可见光；从第二光源部对保持于所述保持部的所述基板射出红外光；在第一摄像传感器中接受通过照射所述可见光而从所述基板射出的第一反射光，来拍摄关于所述基板的表面的可...

【专利技术属性】
技术研发人员：梶原大介，西山直，富田浩，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：