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本文中公开用于在样品操控器与带电粒子系统内的样品之间创建附接的方法和系统。方法包含使样品操控器平移使得其靠近样品，及对所述样品操控器的部分进行铣削使得去除部分。所述样品操控器的靠近所述样品的所述部分是由高溅射产率材料构成，且所述高溅射产率材...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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