下载分振幅点干涉共路离轴数字全息测量装置及方法的技术资料

文档序号:38094620

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本发明公开了一种分振幅点干涉共路离轴数字全息测量装置及方法,波长为λ的光源、第一平面反射镜、显微物镜、第一透镜、分光棱镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、第二透镜、孔阵列、第三透镜、CCD相机和计算机;光源发出光束经过第一平面反射镜后到达被...
该专利属于哈尔滨工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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