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本发明提供一种真空卡盘，其包括：真空缓冲器，其与真空源呈流体连通，所述真空缓冲器是所述真空卡盘中的围闭体积；顶部板，其界定位于第一侧上的表面特征及经由贯通孔通向所述第一侧的内部分布通道网状结构；及流量阀，其经配置以控制所述分布通道网状结构与...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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