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本发明涉及一种长寿命的铜蚀刻液及其制备方法。利用铜盐,无机酸,有机酸,螯合剂,表面活性剂,抑制剂,有机碱和去离子水构成的铜蚀刻液,对铜及其合金蚀刻的过程中,蚀刻液蚀刻速率稳定,蚀刻均匀,蚀刻寿命更长。其中的无机酸、有机酸中的阴离子可以增加铜...该专利属于湖北兴福电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖北兴福电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种长寿命的铜蚀刻液及其制备方法。利用铜盐,无机酸,有机酸,螯合剂,表面活性剂,抑制剂,有机碱和去离子水构成的铜蚀刻液,对铜及其合金蚀刻的过程中,蚀刻液蚀刻速率稳定,蚀刻均匀,蚀刻寿命更长。其中的无机酸、有机酸中的阴离子可以增加铜...