下载一种界面极性偏转的InGaP/GaAs异质结双极型晶体管及其制备方法的技术资料

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本发明涉及一种界面极性偏转的InGaP/GaAs异质结双极型晶体管及其制备方法,方法包括:选取GaAs衬底层;在GaAs衬底层上制备AlGaAs成核层;在AlGaAs成核层上制备n+GaAs集电极欧姆接触层;在n+GaAs集电极欧姆接触层上...
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