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本发明提供了一种偏振薄膜及其在半导体器件中的应用、光学隔离器。本发明的偏振薄膜,包括多个相互交错设置的相变薄膜或包括多个相互交错设置的相变薄膜与非相变薄膜;本发明的偏振薄膜可应用于制备半导体器件,具体的,将该偏振薄膜应用于光学隔离器中,当光...该专利属于北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种偏振薄膜及其在半导体器件中的应用、光学隔离器。本发明的偏振薄膜,包括多个相互交错设置的相变薄膜或包括多个相互交错设置的相变薄膜与非相变薄膜;本发明的偏振薄膜可应用于制备半导体器件,具体的,将该偏振薄膜应用于光学隔离器中,当光...