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本发明揭露一种改善边缘对流的晶圆支撑装置，包括：一支撑盘，具有一顶面及一底面。所述支撑盘的顶面具有一承载面及一非承载面，其中所述非承载面位于所述承载面的外侧，且所述非承载面至所述底面之间形成有多个通孔，所述多个通孔环绕所述承载面，用于将气体...
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