下载一种用于钨及其合金高效抛光的化学机械抛光液的技术资料

文档序号:37994440

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本发明公开了一种用于钨及其合金高效抛光的化学机械抛光液,该抛光液包含研磨颗粒、去离子水、pH调节剂、稳定剂、氧化剂和催化剂。化学机械抛光液中催化剂与氧化剂的协同作用可以显著降低钨的静态腐蚀速率,提高钨及其合金的抛光速度和表面质量,实现高效高...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。

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