下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:37991125

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本公开提供一种半导体结构及其制备方法。半导体结构的制备方法包括:提供第一导电接触层;在第一导电接触层上表面形成柱状电极层;在柱状电极层侧表面形成沿柱状电极层径向排布的第一环形介电层、第二环形电极层、第二环形介电层;在第二环形介电层侧表面形成...
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