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半导体存储器装置制造方法及图纸
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下载半导体存储器装置的技术资料
文档序号:37990014
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根据一个实施例,一种半导体存储器装置包含:堆叠式主体,其包含逐个交替堆叠的多个导电层及多个第一绝缘层以及阶梯状部分,在所述阶梯状部分中,所述多个导电层被处理成阶梯形状;及多个第二柱,其在所述堆叠式主体中在所述阶梯状部分中延伸,其中所述多个第...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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