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本申请涉及一种沉积系统及方法。在本申请的一个实施例中，沉积系统包括：工艺腔；喷淋头，其位于所述工艺腔内；以及气箱，其通过气体管道连接到所述喷淋头且包括切换装置；其中所述气箱包含第一源气体和第二源气体，所述切换装置可操作以在所述工艺腔中执行第...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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