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本发明公开了一种宽量程的薄膜真空计，包括壳体，所述壳体内设置检测电极，所述检测电极将壳体内部分为检测腔室和真空腔室，所述检测腔室连接进气管，所述真空腔室连接抽气管；所述真空腔室内设置压阻元件，所述压阻元件与所述检测电极相对平行设置，所述压阻...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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