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具有背侧功率输送的集成电路结构制造技术
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下载具有背侧功率输送的集成电路结构的技术资料
文档序号:37982314
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描述了具有背侧功率输送的集成电路结构。在示例中,一种集成电路结构包括:在单元边界内的器件层,该器件层具有正侧和背侧,并且该器件层包括源极或漏极结构。源极或漏极沟槽触点结构在器件层的正侧上。源极或漏极沟槽触点结构耦合到源极或漏极结构。金属层在...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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