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具有用于改进接触电阻的外延源极/漏极衬层的晶体管制造技术
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下载具有用于改进接触电阻的外延源极/漏极衬层的晶体管的技术资料
文档序号:37977329
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一种集成电路(IC)结构、IC器件、IC器件组件及其形成方法。IC结构包括晶体管器件,晶体管器件包括:沟道结构,包括半导体材料;栅极堆叠体,包括金属,栅极堆叠体在沟道结构上;源极结构,在栅极堆叠体的第一侧处的第一沟槽中;漏极结构,在栅极堆叠...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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