下载具有隔离结构的半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:37976793

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本发明涉及一种具有隔离结构的半导体器件及其制造方法,所述器件包括:衬底;第一导电类型的埋层,设于衬底中;漂移区,设于埋层上;漏极区,设于漂移区内;体区,设于埋层上;源极区,设于体区内;埋层上并且在漂移区背离体区的方向上依次排列的第一至第四掺...
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