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本发明公开了极紫外谱线探测仪器，包括光束准直器、滤光组件、狭缝部件、光栅和探测器，滤光组件包括滤光片轮以及滤光片，狭缝部件形成有工作狭缝和定标狭缝，工作狭缝与光栅之间的水平距离小于探测器与光栅之间的水平距离以使工作狭缝、光栅与探测器三者之间...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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