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本公开提供了一种半导体结构及其形成方法，涉及半导体技术领域。该半导体结构的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底的表面形成多层堆叠分布的电容结构，每个所述电容结构均包括多个间隔分布的子电容，相邻两个所述电容结构内的所述子电容沿垂直于所述衬底方向...
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