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一种用于在微电子装置制造期间加速物理模拟模型的方法可包含(但不限于)：以具有第一分辨率的第一网格大小运行物理模拟模型；产生来自所述物理模拟模型的具有所述第一分辨率的所述第一网格大小的输出；将来自所述物理模拟模型的具有所述第一分辨率的所述第一...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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