下载可控转印设备和可控转印方法的技术资料

文档序号:37972548

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本发明涉及一种可控转印设备和可控转印方法,所述可控转印设备包括转印机械手、光响应聚合物的薄膜、加热模块以及紫外照射模块,其中,光响应聚合物含有香豆素基团,薄膜设置于转印机械手上,转印机械手的弹性模量小于薄膜的弹性模量,薄膜用于拾取和释放目标...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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