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本发明提供了一种晶圆表面聚合膜质去除方法及测试晶圆再生方法，通过气体对晶圆上生成的聚合膜质进行去除；其中，所述气体在去除聚合膜质的同时不破坏氧化膜质。本发明提出的方案能够避免采用化学液体去除膜质产生大量有害废水的情况产生；能够简化测试晶圆再...
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