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一种用于处理晶片状物件的装置，该装置包含：用于支撑晶片状物件的支撑件；以及液体分配器，其用于将处理液体分配到由支撑件支撑的晶片状物件的表面上；其中液体分配器包含喷嘴组件，该喷嘴组件包含：入口部；分配喷嘴；以及在入口部和分配喷嘴之间的静态节流...
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