下载一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用的技术资料

文档序号:37961893

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用,所述制备方法包括如下步骤:(1)均匀混合三氧化钼粉与钽粉,得到混合料;(2)均匀混合粘结剂溶液与步骤(1)所得混合料,然后进行冷压;(3)冷压结束后进行无压烧结,得到所述氧化钼钽靶材。本发明提...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。