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本发明涉及一种形成外延层的方法，包含以下步骤：S1、提供衬底；将所述衬底置于外延设备的腔体内，所述外延设备包括腔体、第一进气件、排气口和内、外灯组，所述内、外灯组用于给衬底加热，所述第一进气件和排气口分别置于腔体相对的两侧；S2、通过第一进...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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