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本发明提供一种晶锭评估方法及检测装置。从晶碇取得晶圆的缺陷信息。这缺陷信息包括通过光学检测所辨识的一个或更多个缺陷的位置。根据缺陷信息确定这些缺陷的重心位置。根据重心位置评估这些缺陷的均匀度。这均匀度相关于晶圆经加工制程后的质量。由此，可提...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

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