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半导体热电器件表面涂层及涂覆方法技术
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文档序号:37959539
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本发明公开了半导体热电器件表面涂层及涂覆方法,属于半导体热电器件加工技术领域,聚对二甲苯聚合物进行沉积工艺,由于不会发生液相分离,因而聚对二甲苯不会遭受任何流真空金属镀膜是在不超过10
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该专利属于浙江万谷半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江万谷半导体有限公司授权不得商用。
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