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提供了一种光学邻近校正系统和操作方法。提供了一种光学邻近校正系统，包括：多个片段块，该多个片段块包括多个片段，该多个片段包括分段信息表；多个从设备，从该多个片段块接收分段信息表以生成最小片段表；以及主设备，从该多个从设备接收最小片段表，生成...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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