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本实用新型公开一种立式成膜装置基座，涉及半导体晶片制备技术领域，包括转台组件和基板，所述基板设置于所述转台组件上，所述基板用于装载晶片，所述转台组件内能够设置有功能组件；所述转台组件包括转台和底部转盘，所述转台可拆卸安装于所述底部转盘上，所...
该专利属于宁波恒普真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波恒普真空科技股份有限公司授权不得商用。

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